VENA系(xi)列自(zi)动(dong)匹(pi)配器用于真空(kong)(kong)镀膜、等(deng)离子(zi)刻蚀、等(deng)离子(zi)清洗、物理气(qi)(qi)象(xiang)沉(chen)积(ji)，化(hua)学气(qi)(qi)象(xiang)沉(chen)积(ji)，磁控溅(jian)射(she)，以及太(tai)阳(yang)能制(zhi)造设(she)备PECVD等(deng)设(she)备当(dang)中(zhong)，主(zhu)要功能是实现(xian)全(quan)自(zi)动(dong)匹(pi)配，解决了现(xian)在国(guo)内(nei)真空(kong)(kong)镀膜设(she)备中(zhong)的一个(ge)技术空(kong)(kong)缺(que)；具有自(zi)动(dong)，快速，可靠，高效(xiao)，准确，节省人力和时(shi)间(jian)等(deng)特点。可选的射(she)频系(xi)统(tong)检(jian)测(ce)(ce)模块可实时(shi)检(jian)测(ce)(ce)出系(xi)统(tong)的正反功率(lv)、驻波比、射(she)频信号峰值(zhi)电压(ya)、电流、直流偏置电压(ya)等(deng)，从而使您能够发现(xian)并显著降低(di)制(zhi)程变化(hua)性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外(wai)接(jie)匹配控制盒，与其(qi)他射频功率发(fa)生器配合使用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：