VENA系列(lie)自动匹配器用(yong)于真空(kong)镀膜(mo)、等(deng)离(li)子刻蚀、等(deng)离(li)子清(qing)洗、物理(li)气象沉(chen)(chen)积(ji)，化学(xue)气象沉(chen)(chen)积(ji)，磁(ci)控(kong)溅射，以及太阳能制造设备PECVD等(deng)设备当中，主要功(gong)能是(shi)实现(xian)全自动匹配，解决了现(xian)在国(guo)内真空(kong)镀膜(mo)设备中的一个(ge)技术空(kong)缺；具(ju)有(you)自动，快速，可(ke)靠，高(gao)效，准(zhun)确，节省(sheng)人力和时(shi)间等(deng)特点。可(ke)选(xuan)的射频(pin)系统检测模块(kuai)可(ke)实时(shi)检测出系统的正反(fan)功(gong)率、驻波比、射频(pin)信(xin)号峰值电(dian)压、电(dian)流、直流偏(pian)置(zhi)电(dian)压等(deng)，从而使您(nin)能够发现(xian)并(bing)显著降低(di)制程变化性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外(wai)接匹配(pei)控制盒，与其(qi)他射频功率发生器配(pei)合使(shi)用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：