KM-600C匹(pi)(pi)配(pei)器单独的控制系(xi)统，可(ke)(ke)以应(ying)用于(yu)任(ren)何射(she)频(pin)功(gong)(gong)率发生器。可(ke)(ke)替代电子管手动(dong)匹(pi)(pi)配(pei)器用于(yu)真空镀膜、等离(li)子刻蚀、等离(li)子清洗(xi)、物理气象沉(chen)积，化(hua)学气象沉(chen)积，磁(ci)控溅射(she)，以及太阳(yang)能(neng)(neng)制造设(she)备PECVD等设(she)备当中，主要功(gong)(gong)能(neng)(neng)是实(shi)现全自动(dong)匹(pi)(pi)配(pei)，解决了现在国内真空镀膜设(she)备中的一(yi)个技(ji)术空缺(que)；具(ju)有自动(dong)，快速，可(ke)(ke)靠(kao)，高效，准确，节省人力和时间等特点。可(ke)(ke)选的射(she)频(pin)系(xi)统检测(ce)(ce)模块可(ke)(ke)实(shi)时检测(ce)(ce)出系(xi)统的正反功(gong)(gong)率、驻波比、射(she)频(pin)信号峰值(zhi)电压、电流、直流偏置电压等，从而(er)使您能(neng)(neng)够发现并显(xian)著降低制程变化(hua)性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配(pei)控制盒，与其他(ta)射频功率发生器配(pei)合使(shi)用(yong)

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：